Công trình khoa học đã công bố
Nghiên cứu khoa học » Công trình khoa học đã công bố
Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing
- Tên bài báo: "Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing"
- Tác giả: Vi Trung Kiên và đồng tác giả
- Tạp chí/ Hội thảo: 25th of the Chinese Mechanical Engineering Society National Symposium
- Lĩnh vực: Cơ điện
- Toàn văn: Download
